場發(fā)射掃描電子顯微鏡簡介場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。1、分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像2、高壓隧道技術(SuperTunnel),在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證3、電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力4、電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品5、水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性6、磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

場發(fā)射掃描電子顯微鏡簡介場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000的關鍵參數(shù)：

分辨率：0.9 nm @ 15 kV，SE *1.3 nm @ 1.0 kV，SE *0.8 nm @ 30 kV，STEM加速電壓：20 V ~ 30 kV放大倍率： 1 ~ 2,500,000 x電子槍類型 ：肖特基場發(fā)射電子槍軟件：語言：中文操作系統(tǒng)：Windows導航：光學導航、手勢快捷導航自動功能 ：自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

該顯微鏡系統(tǒng)還配備了先進的機械平臺和操作界面，使得樣本的定位和調(diào)整變得簡單快捷。用戶可以通過粗調(diào)和微調(diào)旋鈕輕松地進行精確聚焦，而可選的電動載物臺則進一步提高了操作的便捷性。此外，該系統(tǒng)還可以與各種光譜儀和成像軟件配合使用，實現(xiàn)更復雜的光譜分析和圖像處理。

02